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MARC状态：审校　 文献类型：中文图书　浏览次数：6　

题名/责任者:
光刻/上海无线电十七厂编
出版发行项:
上海:上海人民出版社,1971
载体形态项:
72页:图表;19cm
团体责任者:
上海无线电十七厂 编
学科主题:
半导体工艺-电子束光刻
学科主题:
电子束光刻-半导体工艺
中图法分类号:
TN3
一般附注:
半导体器件平面工艺
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 附件 说明 书刊状态 还书位置
TN3/24 000573995 1971  南校区学生活动中心109室 图书定位    非可借 南校区学生活动中心109室
TN3/24 000573996 1971  南校区学生活动中心109室 图书定位    非可借 南校区学生活动中心109室
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