MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：21
- 题名/责任者:
- 微电子工艺技术与仿真/王强主编
- 出版发行项:
- 镇江:江苏大学出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-5684-0986-5/CNY35.00
- 载体形态项:
- 166页:图;26cm
- 个人责任者:
- 王强 主编
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始没根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长于制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。
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