MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：19
- 题名/责任者:
- 集成电路制造技术教程/李惠军编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-302-37032-1/CNY39.00
- 载体形态项:
- 315页:图;26cm
- 个人责任者:
- 李惠军 编著
- 学科主题:
- 集成电路工艺-教材
- 中图法分类号:
- TN405
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书共分为15章。前9章以常规平面工艺为主要教学内容，包括：集成制造技术基础；硅材料及衬底制备；外延生长工艺原理；氧化介质薄膜生长；半导体的高温掺杂；离子注入低温掺杂；薄膜气相淀积工艺；图形光刻工艺原理等。后6章包括：超大规模集成工艺；集成结构测试图形；电路管芯键合封装等。
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