MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：19
- 题名/责任者:
- 集成电路芯片制造/杨发顺编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2018.7
- ISBN及定价:
- 978-7-302-49552-9/CNY39.00
- 载体形态项:
- xiii, 155页:图;26cm
- 个人责任者:
- 杨发顺 编著
- 学科主题:
- 集成电路-制造-芯片
- 中图法分类号:
- TN405
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共分为11章, 内容包括: 概述、衬底材料、微电子器件结构、芯片制造工艺、半导体制造中的玷污控制、光刻工艺、刻蚀工艺、掺杂工艺; 等等。
- 使用对象附注:
- 本书可作为微电子专业本科及大专教材, 也可作为微电子专业教师或技术人员入职培训用书, 还可作为微电子技术人员的参考用书
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