MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：22
- 题名/责任者:
- 集成电路制造技术/杜中一著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2016.04
- ISBN及定价:
- 978-7-122-26284-4/CNY35.00
- 载体形态项:
- 172页:图;24cm
- 个人责任者:
- 杜中一 著
- 学科主题:
- 集成电路工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书全面、系统地介绍了集成电路制造技术，内容包括集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。书中简要介绍了集成电路制造的基本理论基础，系统地介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备，详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。
- 使用对象附注:
- 本书适用于集成电路制造行业从业人员
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