MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：29
- 题名/责任者:
- NEMS传感器的研制与应用/谭苗苗著
- 出版发行项:
- 北京:冶金工业出版社,2017.01
- ISBN及定价:
- 978-7-5024-7442-3/CNY28.00
- 载体形态项:
- 109页:图;24cm
- 个人责任者:
- 谭苗苗 著
- 学科主题:
- 机电系统-传感器-研究
- 中图法分类号:
- TM7
- 提要文摘附注:
- 本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案，并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析；针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等。
- 使用对象附注:
- 本书可供相关科研单位介绍人员和大专院校相关专业师生参考
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