MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:12
- 题名/责任者:
- 动态微机电系统:理论与应用/何广平 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-03-034316-1/CNY80.00
- 载体形态项:
- 384页:图;24cm
- 个人责任者:
- 何广平 编著
- 个人责任者:
- 赵明 编著
- 个人责任者:
- 赵全亮 编著
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 中图法分类号:
- TM38
- 题名责任附注:
- 题名页题其余责任者: 赵明, 赵全亮, 刘峰斌
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本专著以动态MEMS设计理论为主题,从材料制备技术、系统设计方法、制造工艺方法、建模与控制方法,以及系统应用的角度,较全面深入地介绍当前国内外最新研究成果。本专著内容主要取材于作者课题组近5年在国家自然科学基金资助下取得的科研成果,同时对本专著所涵盖专业领域国内外的主流前沿技术进行系统归纳,使读者能在较短时间内对动态MEMS系统设计获得较为全面的了解,并从中选择自己感兴趣的主题进一步研究,以期对我国MEMS设计理论发展与应用起到一定推动作用。本专著内容安排力求深入浅出,引文详实丰富,从而兼顾初涉本领域的研究生读者和具有相当研究经验基础的读者。
- 使用对象附注:
- 既可以作为机械电子工程专业研究生教材,也可供材料科学、机械工程、电子工程、控制理论等领域研究和技术人员参考。
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