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MARC状态：审校　 文献类型：中文图书　浏览次数：7　

题名/责任者:
微机电系统技术/石庚辰编著
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2002
ISBN及定价:
7-118-02560-7 精装/CNY18.00
载体形态项:
22,217页:图;21cm
并列正题名:
Micro Electro Mechanical Systems
丛编项:
先进制造技术丛书
个人责任者:
石庚辰 (1950~) 编著
学科主题:
微电子技术
中图法分类号:
TN4
中图法分类号:
TM38
一般附注:
由国防科技图书出版基金资助出版
提要文摘附注:
本书介绍微机电系统技术涉及的微机械学、微电子学、微光学、流体力学、自动控制等的学科内容，包括基本问题、常用材料、相关的集成电路制造技术等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 附件 说明 书刊状态 还书位置
TM38/4 000405003 2002  密集书库 M00205349 图书定位    可借 密集书库
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