MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：20
- 题名/责任者:
- 集成电路工程技术人员.初级
- 出版发行项:
- 北京:中国人事出版社,2023.03
- ISBN及定价:
- 978-7-5129-1788-0/CNY50.00
- 载体形态项:
- 305页:图;26cm
- 其它题名:
- 初级
- 其它题名:
- 集成电路工艺实现
- 丛编项:
- 全国专业技术人员新职业培训教程
- 个人责任者:
- 孙鹏 主编
- 个人责任者:
- 倪昊 主编
- 学科主题:
- 集成电路-技术培训-教材
- 学科主题:
- 集成电路工艺-技术培训-教材
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN405
- 责任者附注:
- 书内题: 孙鹏, 倪昊主编
- 书目附注:
- 有书目 (第301页)
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括: 集成电路工艺概论、光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜沉积工艺、炉管工艺、化学机械研磨工艺、掺杂工艺、集成电路制造工艺统计学控制、集成电路制造工艺段落。
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