MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：14
- 题名/责任者:
- 硅微机械传感器/郑志霞著
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2012.12
- ISBN及定价:
- 978-7-308-10879-9/CNY35.00
- 载体形态项:
- 199页:图;26cm
- 并列正题名:
- Mechanical microsensors
- 个人责任者:
- 郑志霞 著
- 学科主题:
- 传感器
- 中图法分类号:
- TP212.1
- 中图法分类号:
- TP212
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展开介绍和讨论。主要内容有：微机械系统的发展历史、现状、应用领域及前景；硅的物理、化学、机械特性；微机械传感器的主要工艺技术和特殊T艺的研究；常见微机械传感器结构；硅微机械压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、热流体传感器的基本原理、结构设计、工艺过程及应用等；常见传感器的接口电路；微机械传感器的封装技术及几种常见微传感器的封装。
- 使用对象附注:
- 可供从事微机械传感器、光电子技术、通信技术、精密仪器与检测技术等的教学、科研、工程技术人员以及高等院校的师生参考
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