MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- 微电子制造技术实验教程/王姝娅 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-044494-3/CNY29.00
- 载体形态项:
- 152页:图;24cm
- 丛编项:
- 微电子专业实验教材系列丛书
- 个人责任者:
- 王姝娅 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-实验-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN4-33
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- “电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材，教育部“卓越工程师教育培养计划”系列教材
- 题名责任附注:
- 题名页题其余责任者: 戴丽萍, 钟志亲等
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验，同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力，注重实验的操作。
- 使用对象附注:
- 高等院校微电子及相关专业的实验教材
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