MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：13
- 题名/责任者:
- 半导体制造技术/(美)Michael Quirk，(美)Julian Serda著 韩郑生等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-121-26083-4/CNY79.00
- 载体形态项:
- 614页;26cm
- 个人次要责任者:
- 韩郑生 译
- 学科主题:
- 半导体工艺-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN305
- 一般附注:
- 国外电子与通信教材系列
- 提要文摘附注:
- 全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来；具体讲解每一个主要工艺；集成电路装配和封装的后部工艺概况。
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