MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 微纳系统技术与应用/姚军，汪为民编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2011
- ISBN及定价:
- 978-7-03-032103-9/CNY50.00
- 载体形态项:
- 216页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳技术著作丛书
- 个人责任者:
- 姚军 编著
- 个人责任者:
- 汪为民 编著
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书阐述了微纳结构与系统的知识，包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等；探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等；并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。
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