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中文图书1.多晶硅生产技术:项目化教程 TN304/9
馆藏复本:2
可借复本:2 刘秀琼, 唐正林主编
化学工业出版社 2013
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中文图书2.半导体硅材料基础.第2版 TN304/2=2
馆藏复本:2
可借复本:1 尹建华, 李志伟主编
化学工业出版社 2012
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中文图书3.硅半导体工艺数据手册 TN304/1
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)H.F.沃尔夫编
国防工业出版社 1975
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