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• 010 __ |a 978-7-308-10879-9 |d CNY35.00

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• 200 1_ |a 硅微机械传感器 |A Gui Wei Ji Xie Chuan Gan Qi |d = Mechanical microsensors |f 郑志霞著 |z eng

• 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2012.12

• 215 __ |a 199页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展开介绍和讨论。主要内容有：微机械系统的发展历史、现状、应用领域及前景；硅的物理、化学、机械特性；微机械传感器的主要工艺技术和特殊T艺的研究；常见微机械传感器结构；硅微机械压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、热流体传感器的基本原理、结构设计、工艺过程及应用等；常见传感器的接口电路；微机械传感器的封装技术及几种常见微传感器的封装。

• 333 __ |a 可供从事微机械传感器、光电子技术、通信技术、精密仪器与检测技术等的教学、科研、工程技术人员以及高等院校的师生参考

• 510 1_ |a Mechanical microsensors |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |A Chuan Gan Qi

• 690 __ |a TP212.1 |v 5

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 701 _0 |a 郑志霞 |A Zheng Zhi Xia |4 著

• 801 _0 |a CN |b WXCSXY |c 20131031

• 905 __ |a WXCSXY |d TP212/138