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• 005 20160605190900.0

• 010 __ |a 978-7-03-044494-3 |d CNY29.00

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• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子制造技术实验教程 |A Wei Dian Zi Zhi Zao Ji Shu Shi Yan Jiao Cheng |f 王姝娅 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 152页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微电子专业实验教材系列丛书 |A Wei Dian Zi Zhuan Ye Shi Yan Jiao Cai Xi Lie Cong Shu

• 300 __ |a “电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材，教育部“卓越工程师教育培养计划”系列教材

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 戴丽萍, 钟志亲等

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验，同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力，注重实验的操作。

• 333 __ |a 高等院校微电子及相关专业的实验教材

• 410 _0 |1 2001 |a 微电子专业实验教材系列丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 实验 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4-33 |v 5

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 王姝娅 |A Wang Shu Ya |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 江苏新华 |c 20150511

• 905 __ |a WXCSXY |d TN4/61