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• 200 1_ |a 集成电路制造工艺 |A ji cheng dian lu zhi zao gong yi |f 孙萍主编

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a 11,280页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a “十二五”职业教育国家规划教材 全国高等职业教育规划教材·精品与示范系列

• 330 __ |a 本书从集成电路的制造工艺流程出发，系统介绍继承电路制造工艺的原理、工艺技术和操作方法等。全书共分4个模块11章，内容包括：集成电路制造工艺的发展与工艺流程、薄膜制备等。

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A Ji Cheng Dian Lu Gong Yi |x 职业教育 |j 教材

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A Ji Cheng Dian Lu Gong Yi

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 _0 |a 孙萍 |A sun ping |c (技术教育) |4 主编

• 801 _0 |a CN |b WXCSXY |c 20141213

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