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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳系统技术与应用 |A wei na xi tong ji shu yu ying yong |b 专著 |f 姚军，汪为民编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2011

• 215 __ |a 216页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳技术著作丛书 |A Wei Na Ji Shu Zhu Zuo Cong Shu

• 330 __ |a 本书阐述了微纳结构与系统的知识，包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等；探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等；并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳技术著作丛书 |A Wei Na Ji Shu Zhu Zuo Cong Shu

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 姚军 |A yao jun |4 编著

• 701 _0 |a 汪为民 |A wang wei min |4 编著

• 801 _0 |a CN |b WXCSXY |c 20111209

• 905 __ |a WXCSXY |d TN4/40