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• 010 __ |a 978-7-03-034316-1 |d CNY80.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 动态微机电系统 |A Dong Tai Wei Ji Dian Xi Tong |e 理论与应用 |f 何广平 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2012

• 215 __ |a 384页 |c 图 |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 赵明, 赵全亮, 刘峰斌

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本专著以动态MEMS设计理论为主题，从材料制备技术、系统设计方法、制造工艺方法、建模与控制方法，以及系统应用的角度，较全面深入地介绍当前国内外最新研究成果。本专著内容主要取材于作者课题组近5年在国家自然科学基金资助下取得的科研成果，同时对本专著所涵盖专业领域国内外的主流前沿技术进行系统归纳，使读者能在较短时间内对动态MEMS系统设计获得较为全面的了解，并从中选择自己感兴趣的主题进一步研究，以期对我国MEMS设计理论发展与应用起到一定推动作用。本专著内容安排力求深入浅出，引文详实丰富，从而兼顾初涉本领域的研究生读者和具有相当研究经验基础的读者。

• 333 __ |a 既可以作为机械电子工程专业研究生教材，也可供材料科学、机械工程、电子工程、控制理论等领域研究和技术人员参考。

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 何广平 |A He Guang Ping |4 编著

• 701 _0 |a 赵明 |A Zhao Ming |4 编著

• 701 _0 |a 赵全亮 |A Zhao Quan Liang |4 编著

• 801 _0 |a CN |b WXCSXY |c 20130312

• 905 __ |a WXCSXY |d TM38/3