MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 集成电路芯片制造实用技术/卢静主编
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2011
- ISBN及定价:
- 978-7-111-34458-2/CNY27.00
- 载体形态项:
- 214页:图;26cm
- 个人责任者:
- 卢静 主编
- 学科主题:
- 集成芯片-制造-高等教育-教材
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 中图法分类号:
- TN43
- 一般附注:
- 全国高等职业教育职业规划教材
- 书目附注:
- 有书目 (第214页)
- 提要文摘附注:
- 全书共分9章，内容包括了概述、硅晶圆制程、硅晶薄膜制备、氧化工艺、掺杂工艺、光刻工艺、刻蚀制程、芯片封装、集成电路芯片品检。
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